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设计要点

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。

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三、进口真空泵进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去。

四、进口真空泵的转子的弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好。

五、进口真空泵温度太高

1、被抽气体温度太过高。应当让气体冷却后再重新进入真空泵内。

2、吸入硬物使进口真空泵体磨损。应当拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。

3、真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量。

4、配置不当，使转子轴心位移，导致单面磨损。应当拆开检查并重新装配。

容器压强---时间曲线如果真空炉的压升率是种情况（曲线a ）,可以从以下几种情况查找原因：

A ：机械泵抽气速率过低或真空度不高。旋片泵的结构、工作原理及故障维修见机械泵的使用说明书。

B：罗茨泵抽气速率过低或真空度不高。罗茨泵的结构、工作原理及维修间罗茨泵使用说明书。

C：K型高真空油扩散泵抽气速率过低。K型高真空扩散泵的工作原理及注意事项见高真空油扩散泵使用说明书。

管道积水水环真空泵与蒸汽凝气器相连通。一方面，水环真空泵在运行过程当中，很容易因水汽分离设备存在工作漏洞，造成管道内产生水汽积流；另一方面，待水环真空泵停止运转时，由于水汽凝结，也会形成积水。随着积水次数增多，会造成水倒流回真空泵内，短时间内形成较大电压，容易烧毁电机。

为了避免出现这种危害，应该定时对水环真空泵的使用情况进行检查，重点检查进出气管道中是否存在积水，如果发现，要及时清理。

为了防患于未然，还要改造水环真空泵的水气分离器，可以采用具有更高耐磨性和耐腐蚀性的钢材，或者加粗水气分离器管筒的直径，使水气分离能够在足够的空间内进行，从而使水蒸气积流大大减少，避免积水故障。