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真空泵配件中泵油的光滑性    摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关。表现佳的泵油有利于抑止腐蚀磨损；能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。

清净性    摩擦副不可防止地要与四周介质接触，惹起腐蚀、锈蚀而毁坏。表现的泵油请求尽可能把摩擦面积垢清洗扫除；抗腐蚀防锈并维护摩擦外表不受油蜕变或外来腐蚀。

机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：

（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。