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第8年 |    
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日本ULVAC真空泵批发了解更多「捷恩」

发布时间:2022-07-10 10:47:00        作者:捷恩







     广州捷恩机电科技有限公司提供真空泵、真空系统、配件、润滑油、水泵。广泛应用于电子、钟表、食品、化工、冶金、制药、五金、模具、造纸、建材等领域。我们主要经营的品牌有:德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国Rietschle里其乐、德国欧瑞康Leybold莱宝、日本ULVAC爱发科、法国ALCATEL阿尔卡特等。日本ULVAC真空泵批发服务热线。



      干式真空泵市场规模增长的主要驱动因素来自于制药业,制药企业利用干式真空泵在药品、中间体、原料的制造过程中保持适宜的反应环境,以及用于不断增长的新药研发活动。亚太地区是干式真空泵市场增速快的区域,主要驱动因素是持续增长的半导体和电子产业发展。干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁或严苛制程。受益于近年来集成电路产业的稳定增长,干式真空泵产业也保持着持续稳步的发展态势。以 12 英寸晶圆生产线为例,每 3.5 万片/月产能需要约 2,000 台真空泵。日本ULVAC真空泵批发


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在压缩循环过程中,热传递到液环。为了使温度保持在工作液的蒸发点以下,必须进行冷却。通过连续不断地向液环添加冷的工作液来达到冷却的目的。添加的工作液量与经过排放口与压缩气体混合物一起排放的工作液排放量相等。气体混合物和工作液终经过泵出口进行分离。

液环泵按不同结构可分成如下几种类型:

(1) 单级单作用液环泵单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较低。

(2) 单级双作用液环泵单级是指只有一个叶轮,双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下,双作用液环泵比单作用液环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高。







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上述说明,现标准在测量过程中根本没有考虑到压力变化过程中泵温的变化,实际上压力的变化将直接导致压缩功的变化,压缩功的变化又将使泵温发生变化。众所周知,在油封真空泵的消耗功率中,包含了压缩功和摩擦功,由于泵油的粘度随温度变化较大,因此克服油摩擦所需要的功率也随泵温变化。为此我们做了H-150泵在大功率时泵温对消耗功率影响的试验(室温为32℃),测试数据如下:

试验表明,H-150泵在大功率时,泵温稳定需要1.5h以上,泵温(上升)变化达27℃,功率变化达0.93kW,即下降了8.25%。


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