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发布时间:2022-08-11 10:20:00 作者:捷恩
除半导体产业以外,制药、化工、食品行业对真空泵的需求较大,以往使用油封式机械泵会产生油污染。近年来国家对环境保护高度重视,由于干式真空泵能够显著减少油污染,且使用干式真空泵可实现溶媒回收提高利用率,因此制药、化工、食品等行业对干式真空泵产生了大量新增以及替代原有存量油封式机械泵的需求。
人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。
在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点,我们将在下一节中介绍。
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