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真空蒸镀

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

真空干燥

利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

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过度段真空蒸馏：指体系在第二段真空度蒸馏完毕，需要切换到高真空蒸馏时，因体系内残留溶剂较少，第二段真空度已无法再蒸出溶剂（除非加大蒸汽，但易变质或使物料中溶剂残留较高，一般不这样操作），此时会开启罗茨机组，继续将剩下的溶剂蒸出。然而，体系残留溶剂的蒸发，会导致真空度比正常的高真空蒸馏体系低很多，混用会造成正常高真空蒸馏体系断流、冲料及物料互串，且该过度段持续时间相对较长，不宜让其他高真空用户等待。

2、分析

该工段各真空用途持续时间都较长，且同一时段可能存在多用途工况，因此，需将不同用途的泵分开。

叶片泵

叶片泵特点：输出流量比齿轮泵均匀，运行平稳，噪声小；工作压力高，容积效率也高，单作用叶片泵易实现流量调节，双作用叶片泵因转子所受径向液压力平衡，使用寿命长；但是叶片泵自吸能力差，对油液污染较敏感，叶片容易被杂质卡死，工作可靠性差；结构复杂，对制作精度要求较高，造价高。适用场合：适用于黏度中等的液体。

旋片式真空泵

旋片式真空泵工作特点：体积小、重量轻、噪音低；设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；在环境温度五摄氏度到四十摄氏度范围内，进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转，被抽气体相对湿度大于百分之九十时，应开气镇阀；设有自动防返油止回阀，启动方便；进气口连续畅通大气运转不得超过一分钟；不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的，有性的，有毒的气体。

它已广泛地应用于冶金、机械、、电子、化工、轻工、石油及等生产和科研部门。