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体不断地被抽进吸气腔A，此时压缩腔B空间的容积正逐渐减小，气体压力不断地增大，同时与排气口相通的排气腔C的容积进一步地减小，排气腔C的空间压强进一步地升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，穿过油箱内的油层而排至大气中。如图二所示，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。显然转子的转速愈快，则泵的抽速愈大。机械泵的转速一般在450~1400r/min之间，因为转速太高，密封极为困难。排气阀浸在油里，以防止大气流人泵中。为保证吸气腔和排气腔之间不漏气，除保证紧密接触之外，还采用蒸气压力较低且有一定薪度的***机械泵油，并使油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进人泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封。此外机械泵油还起着润滑和帮助在气体压强较低时打开排气阀门的作用。同时机械泵油还可充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。

（一）、罗茨真空泵定期检查：1、每日检查：a）油位检查：油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。b）温度检查：用温度计检查泵各部位温度。c）电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。2、罗茨真空泵每月检查：联轴器及垫片是否损坏和松动。3、罗茨真空泵每3个月检查：齿轮箱内润滑油是否变质。4、罗茨真空泵每6个月检查：a）前盖轴承箱内润滑油是否变质。b）活塞环及活塞环衬套是否磨损。c）齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。

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性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

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5、用橡皮垫圈密封的则取下橡皮垫圈，退出定位销。

6、取出转子及旋片。通常在低转子端而设有两个攻了丝的孑匕用丝杆拧入此孑匕便很容易地拉出低转子了。但要注意拉出转子时一定要用手捏紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小自容易脱手飞出，掉于地上或碰到硬物，碰坏旋片棱角及表面造成无端报废。

7、拆卸高真空端，拿出高转子和旋片。此时，只需用手捏紧旋片和轴即可取出转子。