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一、真空管路或系统内返油 1.油蒸气返流至真空管路或系统中 2.油饱和蒸汽压不对 3.停泵时，油返流 4.截留阀板上的密封件毁坏 5.抽支气管路底端密封件浸蚀或毁坏

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解决方法： 1.清除真空泵后换符合要求的油 2.清除真空泵后换符合要求的油 3.检查并拆换截流阀 4.拆换截流阀 5.拆换抽路、检修密封件

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油受污染 1.真空泵油在污秽制作工艺整个过程中遭到污染 2.真空泵油不宜 3.真空泵油不足 4.机械泵漏率过大 5.延展性维护保养气体不足。

<解决方法>

1.更换真空泵油或清洗

2.清洗后用规定的真空泵油

3.加注足量真空泵油

4.修理泄露处，或更换真空泵油

5.工艺过程中含有腐蚀性、危险性或性气体时必须加足量保护气体