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d.与泵腔的接触点到排气口之间的有害空间有关，有害空间中的气体不能被旋片泵排出泵腔，而会被带回吸气侧，导限压力的升高，泵中的循环泵油填充到有害空间，可消除有害空间对极限压力的影响。

e.零件的加工精度，运动件之间的间隙，轴端密封等。

2.抽气速率：单位时间内排出气体的体积，单位为L.S-1。

a.名义抽速：旋片泵出厂的标牌抽速。b.几何抽速：旋片泵在额定转速下，单位时间排出的几何容积，与吸气终了时的吸气腔容积，转子的转速，以及旋转一周的吸排气次数有关。c.实际抽速：实际测得的抽速，是入口压力的函数。

3.电机功率：与压缩气体、克服摩擦、过载有关。

结构特点

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向大气中排气。

分类

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

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管道积水水环真空泵与蒸汽凝气器相连通。一方面，水环真空泵在运行过程当中，很容易因水汽分离设备存在工作漏洞，造成管道内产生水汽积流；另一方面，待水环真空泵停止运转时，由于水汽凝结，也会形成积水。随着积水次数增多，会造成水倒流回真空泵内，短时间内形成较大电压，容易烧毁电机。

为了避免出现这种危害，应该定时对水环真空泵的使用情况进行检查，重点检查进出气管道中是否存在积水，如果发现，要及时清理。

为了防患于未然，还要改造水环真空泵的水气分离器，可以采用具有更高耐磨性和耐腐蚀性的钢材，或者加粗水气分离器管筒的直径，使水气分离能够在足够的空间内进行，从而使水蒸气积流大大减少，避免积水故障。