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机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：

（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。

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一、真空管路或系统内返油 1.油蒸气返流至真空管路或系统中 2.油饱和蒸汽压不对 3.停泵时，油返流 4.截留阀板上的密封件毁坏 5.抽支气管路底端密封件浸蚀或毁坏

水环式真空泵工作原理如原理图：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中指示的方向顺时针旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。

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3、真空泵的蒸气容许量: 蒸气的容许量企业是kg/h，它就是指泵在畸型标准标准下，气镇泵在相继工作时要抽除的蒸气品质总流量。 4、真空泵的抽速指数： 泵的基础理论抽速与泵出入口按分子结构泻流划得来的实践活动抽速之比。 5、真空泵的返流率: 泵的返流率企业是g/cm2.s。它就是指泵按技术规范标准工作时，历经泵出入口企业总面积的泵流品质流率。