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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要

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于真空泵和凝汽器直接相连，进气管道中不可避免的存在部分蒸汽。需更换添加厂家推荐的润滑油，真空泵在工作一段时间后温度可达100℃以上，普通的润滑油将被加热蒸发。当真空泵停运时，蒸汽在管道内凝结成水，堆积在进口阀前。当再次启动真空泵时，水进入真空泵，容易引起电流过大。如果水量过大，将会危及电机的安全运行。为了避免上述危害，启动前应手动打开进口阀进行排水。对于两台真空泵一用一备的情况，应合理的设计启动顺序，防止类似情况发生。